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產(chǎn)品特點(diǎn)
l ? 閉式氣浮結(jié)構(gòu) ? 直驅(qū)零齒槽效應(yīng)
l ? 定位精度±0.5arc sec ? 同步跳動(dòng)誤差10nm
? 精準(zhǔn)回零誤差 ? 高速度穩(wěn)定性
? 最大承載100kg ? 解決氣浮抱死問(wèn)題
應(yīng)用領(lǐng)域
QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)輕量化設(shè)計(jì)、有效降低高度、減小多軸系統(tǒng)集成情況下的阿貝誤差；提供高定位精度、高速度穩(wěn)定性和納米級(jí)同步跳動(dòng)。產(chǎn)品設(shè)計(jì)滿(mǎn)足晶圓加工及檢測(cè)、輪廓測(cè)量、高精度計(jì)量、光學(xué)檢測(cè)和MEMS/納米技術(shù)設(shè)備等高端行業(yè)。
結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
由無(wú)齒槽直驅(qū)力矩電機(jī)、閉式氣浮軸承和圓光柵反饋組成，最大限度地提高定位性能。閉式氣浮結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使工作臺(tái)面降到最低，減小系統(tǒng)誤差影響。具有高軸向剛度和大承載能力。解決氣浮抱死的問(wèn)題，力矩電機(jī)固有的零齒槽效應(yīng)和扭矩波紋折射，適合在各種速度下平滑轉(zhuǎn)動(dòng)。
精度性能
瑞邦精控的QFR系列氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)同步軸向跳動(dòng)誤差和徑向跳動(dòng)誤差10nm，擺角誤差3μrad，最大負(fù)載100kg，電動(dòng)控制和手動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)跳動(dòng)誤差一致，使用壽命10年以上。
閉環(huán)反饋
使用圓光柵閉環(huán)反饋，分辨率優(yōu)于0.01arc sec，同時(shí)采用高性能控制系統(tǒng)，優(yōu)化氣浮結(jié)構(gòu)，氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)能精準(zhǔn)回零。
定制化
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)可安裝滑環(huán)，用于空間模擬裝置，MEMS和慣性導(dǎo)航等應(yīng)用。
規(guī)格指標(biāo)
型號(hào) | 單位 | QFR-100 | QFR-200 | QFR-300 | |
行程 | ° | 360 | |||
臺(tái)面直徑 | mm | 134 | 184 | 284 | |
通孔直徑 | mm | 16 | 22 | 40 | |
補(bǔ)償后定位精度 | Plus (1) | arc sec | ±0.5 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±2 | ||||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus (1) | arc sec | ≤0.5 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ≤1 | ||||
軸向跳動(dòng)誤差 (2) | Plus (1) | nm | 10 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | 200 | ||||
徑向跳動(dòng)誤差 (2) | Plus (1) | nm | 10 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | 200 | ||||
擺角誤差 | Plus (1) | μrad | 3 | ||
標(biāo)準(zhǔn)值 | 6 | ||||
電子分辨率 (3) | arc sec | ＜0.01 | |||
最大速度 (空載) (4) | rpm | 300,（≥1000 定制） | |||
最大負(fù)載 | 軸向 | kg | 20 | 45 | 100 |
徑向 | 12 | 27 | 60 | ||
供氣壓力 (5) | MPa | 0.5±0.05 | |||
空氣消耗量 | SL/min | 26 | 35 | 60 | |
自重 | kg | 5 | 10 | 26 | |
材料 | / | 航空7075鋁合金（表面氧化處理） |
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-F，測(cè)試點(diǎn)在轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面上25mm處，測(cè)試速度2-10deg/s，Renishaw激光干涉儀及自帶分析方法測(cè)量，精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如需非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢(xún)我們。
1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級(jí)版。
2. 軸向和徑向跳動(dòng)為同步跳動(dòng)誤差，測(cè)微儀和標(biāo)準(zhǔn)球測(cè)量，計(jì)算為最大值-最小值-標(biāo)準(zhǔn)球誤差-同心度。
3. 電子分辨率取決編碼器線(xiàn)數(shù)及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
4. 最大轉(zhuǎn)速取決于負(fù)載大小，最大定制轉(zhuǎn)速7800 rpm。
5. 為保護(hù)氣浮軸承建議加裝壓力保護(hù)開(kāi)關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過(guò)濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無(wú)水（壓力露點(diǎn)-20℃，ISO8573-1級(jí)別3）及無(wú)油（ISO8573-1級(jí)別1）。
訂購(gòu)信息
型號(hào) | QFR | -100 | -PLUS | -1 | -3 | -Y |
描述 | 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) | 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面直徑134mm | PLUS高精度版 | 增量式光柵1Vpp反饋 | 線(xiàn)纜長(zhǎng)度3米 | 有壓力保護(hù)開(kāi)關(guān) |
名稱(chēng) | 型號(hào) | 描述 |
氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) | QFR | 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái) |
臺(tái)面 | -100 -200 -300 | 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面φ134mm 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面φ184mm 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)面φ284mm |
精度等級(jí) | -N -PLUS | 標(biāo)準(zhǔn)值 PLUS高精度版 |
反饋方式 | -1 -T -ABS | 增量式光柵1Vpp反饋 增量式光柵TTL反饋 絕對(duì)式光柵反饋 |
線(xiàn)纜長(zhǎng)度 | -3 -5 -DZ | 長(zhǎng)度3米（標(biāo)配） 長(zhǎng)度5米 定制 |
壓力保護(hù)開(kāi)關(guān) | -Y -N | 有壓力保護(hù)開(kāi)關(guān)（標(biāo)配） 無(wú)壓力保護(hù)開(kāi)關(guān) |