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隨著空間科學技術的發展及國防現代化軍事裝備的需要，電真空器件必須具有高可靠、長壽、命、低噪音、寬頻帶、大功率的特點。常用于地面、艦載、機載、衛星、通訊、雷達、電子對抗、精確制導等武器系統中，其性能和質量的優劣對武器裝備的性能和質量起至關重要的作用，被譽為國家安全的戰略器件、電子管是現代高技術電子裝備的關鍵與核心器件之一。
其，研究電真空零部件的表面清洗處理是很有必要。因為污染物所造成的氣體、蒸汽源會使真空系統不能獲得所要求的真空度。此外，由于污染物的存在，還會影響電真空部件連接觸的強度和密封的性能，對電真空器件的性能有極大的影響。
電真空器件污染物的主要來源：
1、在加工原材料過程中，所使用的潤滑油；
2、操作人員手上的臟物和唾液，因為在制造電真空器件，主要靠人力手動完成裝配，工作時不可避免的對零部件造成污染；
3、去油過程中溶劑的殘留物，例如：自來水中的鹽類和有機物質，金屬零件使用的金屬去油劑等；
4、零部件存放時，空氣中含有的灰塵、水蒸汽等。
深圳威固特VGT-509FHA全自動智能式超聲波清洗機烘干機：
概述：
設備共有5個功能槽，配置有拋動系統、循環過濾系統、自動恒溫系統、定時系統、自動智能式機械手、熱風烘干系統等。設備采用環保型水溶劑洗滌、純水漂洗，為環保型自動智能型清洗烘干機。
清洗過程中工件通過超聲波高頻產生的“氣化現象”的沖擊和系統自身不停地作上下運動，增加了液體的摩擦，從而使工件表面的污垢能夠迅速脫落，實現其高清潔度的目的。
設備各部分配置：
水劑清洗槽：
1、槽體設四面溢流口，溢水槽寬35 mm，槽體為獨立循環槽， 由循環泵將洗劑從儲液箱抽出經過濾后再運回清洗槽，即子母槽循環；
2、設置獨立循環過濾系統；
3、各槽底部設排液閥且與1槽串聯連至獨立排管；
4、槽內設溫度感應器，溫控范圍：RT-100℃。
過濾循環系統的結構：
1、泵前加可拆卸式過濾篩網，泵后安裝過濾器；
2、過濾器前裝水壓力表一只，提示需更換或清洗過濾器。
熱風烘干槽結構：
烘干槽配置一套氣缸，氣缸帶動鋼化玻璃一起運動，形成密封蓋。
FFU壓風系統：
結構：
在烘干槽正上方的機架頂部設置一個FFU層流送風單元。由上往下吹風形成負壓風，致使工件加熱后附附著物不易粘附。
功能：
1、因慢拉槽液溫較高,如無頂部的FFU壓風,大量的水汽將往上騰, 水氣會再次附著于提出的玻璃上；安裝FFU后,可在上方形成局部正壓,大部分水汽從缸面的抽氣口抽走；
2、風量加大并可調節。
拋動機構：
形式：
1、拋動電機通過偏心輪帶動線性滑塊上下運動，從根本上保證拋動的連續性，減少拋動的摩擦阻力，杜絕因工件過重而損壞拋動系統，從而實現拋動架帶動洗籃在清洗槽內作上下運動；
2、運行穩定性好，噪聲小。
原理：
清洗過程中工件作均勻地拋動，可以增加工件與液體的磨擦，有利于表面污垢迅速脫落，提高清洗效果。
運輸、安裝調試及技術服務：
1、運輸：供方負責，需方負責設備到廠后的現場就位工作；
2、供方負責安裝調試，隨設備到需方現場安裝調試，供方配合需方試清洗及觀察3天；
3、提供從設備驗收合格之日起1年的免費技術支持及服務，對非人為損壞或自然災害等造成的損壞，保證省內24小時內響應，省外48小時內響應；保修期過后，實行以人工旅差費+材料費結算的優惠維修服務。