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    學術論文

    [論文]皮秒激光與光纖激光切割藍寶石對比

    Johnny Lee 來源:激光制造商情2016-01-19 我要評論(0 )   

    皮秒激光,即指其激光發射脈沖寬度時間為皮秒數量級,我們用來加工藍寶石的皮秒激光器脈沖寬度為6~10ps,脈沖重復頻率為400~600kHz,峰值功率達MW級。

    東莞市盛雄激光設備有限公司供稿

     1.什么是皮秒
       皮秒激光,即指其激光發射脈沖寬度時間為皮秒數量級,我們用來加工藍寶石的皮秒激光器脈沖寬度為6~10ps,脈沖重復頻率為400~600kHz,峰值功率達MW級。 
       亞皮秒也是一種時間量度單位,嚴格意義脈沖寬度應介于500ps~1ns之間的激光才能稱之為亞皮秒激光。  
     
    目前市場上切割藍寶石基片需要吹氮氣冷卻的激光器其脈沖寬度為0.2ms, 重復頻率為100 Hz, 峰值功率僅為KW級,與皮秒激光相比,兩者的脈沖寬度相差高達10000000倍,峰值功率相差高達1000倍。 
     
    溫馨提示:實際市場上有些激光公司所謂的亞皮秒激光,其跟皮秒激光根本不是同一概念,其實質是混淆視聽,只是為了在推銷機器時提高價格而已。
     
    2.切割原理對比
     
    皮秒激光:氣化切割方式 
    脈沖激光在高峰值功率激光束照射下,材料被高峰值功率瞬間加熱迅速升高至氣化溫度而無明顯融化,使得材料以氣體的形式從材料表面逸出。激光束經過高速位移的掃描振鏡反射后經平場鏡聚焦在藍寶石表面,多次重復轉圈運動,逐漸蝕刻藍寶石,材料可完全切透分離,所以可以實現材料的自動化上下料。
     
    光纖激光: 熱熔切割方式
    準連續激光平均功率相對較低,被激光照射處的材料首先產生熱熔融化,在高純氮氣(或其他惰性氣體)氣體流的作用下,熔融的材料由切口底部排出。其中氮氣作用有兩種:1.冷卻;2.加速排屑,提高切透力。
    激光束經過導光系統進入切割頭,經切割頭中透鏡聚焦于藍寶石表面,使該處材料迅速熔化,形成孔洞,隨平臺的移動,形成切口,借助向下掃的氮氣流將熔化的材料吹除。切割時激光與氮氣的作用產生瞬間即熱即冷,容易掛渣,使得材料不能徹底切割開分離,故不能實現自動化上下料。

    3.切割構型對比

     



    4. 峰值功率對比
    以切割0.3mm厚度藍寶石為例
    皮秒激光(100W) 
       脈沖寬度:10ps 
       使用功率:48W(雙頭加工,單頭功率24W)
       脈沖頻率:600kHz
       單脈沖能量= 使用功率÷脈沖頻率=24W ÷ 600kHz=40μ? 
       峰值功率=單脈沖能量÷脈沖寬度  =40μ?÷10ps=4×1000000W=4000000W 
     
    光纖激光(150W)
       脈沖寬度:135us 
       使用功率:50W
       脈沖頻率:750Hz
       單脈沖能量= 使用功率÷脈沖頻率=50W ÷ 750Hz=66667μ?
       峰值功率=單脈沖能量÷脈沖寬度=66667μ? ÷135us=494W
     

    5.切割效率對比

    皮秒激光設備:全自動化上下料


    13000粒/23小時

    (以厚度0.3mm、直徑為10mm圓為例)

    光纖激光設備:人工手動上下料


    5000粒/23小時 
    (以厚度0.3mm、直徑為10mm圓為例) 
     
    皮秒激光切割排版
    皮秒激光切割藍寶石排版示意圖

                     藍寶石                                藍寶石

    皮秒激光切割藍寶石排版緊湊,無需切割引線,最大化利用藍寶石材料

    6.切割錐度對比

    以切割0.3mm厚度藍寶石片為例,規格12.3*12.3。

    下圖分別為皮秒激光與光纖激光切割的藍寶石邊緣投影圖。皮秒激光切割藍寶石錐度<11°;光纖激光切割藍寶石錐度<7°。




    7. 切割效果對比

    藍寶石小粒:12.3*12.3






    光纖激光切割的藍寶石邊緣發黃,皮秒激光切割的藍寶石邊緣不變色

    正面直線邊緣對比

    皮秒激光切割  

     

      結論:

    1、皮秒激光切割的藍寶石直線邊緣整齊光滑

    2、光纖激光切割的藍寶石邊緣呈鋸齒,且邊緣線條發黑

     

    正面崩邊對比


    結論:
    1、放大1000倍觀測,正面崩邊均小于10um。
    2、皮秒激光切割的藍寶石邊緣局部偶爾有崩邊鋸齒,所以整體靜壓強度會很高。
    3、光纖激光切割的藍寶石整個正面邊緣都是鋸齒和裂紋,所以力學強度會大幅下降。
     
    背面邊緣效果對比
    皮秒激光切割藍寶石背面邊緣(崩邊<30 um)

    皮秒激光切割的藍寶石背面邊緣整齊,光纖激光切割所得的邊緣呈鋸齒線條。

    光纖激光切割藍寶石背面邊緣(崩邊<30 um

    不似皮秒激光采取快速多次填充式切割,光纖激光切割藍寶石采取“一刀切穿”模式,切割錐度小,不易區分切割正面與背面。

    熱影響區域對比

    皮秒激光切割                            光纖激光切割


    8.靜壓強度對比

    皮秒激光切割產品 (靜壓強度>10Kg)


    光纖激光切割產品(靜壓強度<5Kg


    落球測試:7g 、60cm (皮秒激光與光纖激光切割的藍寶石均通過)  

    9.小結


    文章鏈接:http://www.w5278.com/ebook/201512/pdf/f1.pdf

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    皮秒激光光纖激光藍寶石切割
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