文/Sami Hendow，IMRA America

從一家大型汽車制造商的生產線上下線的汽車發動機活塞；該活塞已經過飛秒激光處理，以提升發動機性能。

2018年諾貝爾物理學獎授予Arthur Ashkin、Gérard Mourou和Donna Strickland，以表彰他們在激光物理學領域的突破性發明。特別是，Mourou和Strickland因其產生高強度超短光脈沖的方法而獲得諾貝爾獎。該方法通常稱為啁啾脈沖放大（CPA；見圖1）。該獎項不僅是為了表彰科學界對CPA革新性的承認，也是因為它對激光產業產生的影響。目前，CPA是產生飛秒脈沖的主要手段。

業界對產生和使用越來越短、越來越強的激光脈沖的興趣一直很高。然而，現實中也存在一種物理障礙，阻止這種脈沖在固態放大器和光纖中被高度放大。隨著脈沖的變短和峰值功率的增加，出現的光學非線性問題限制了在材料中傳輸的峰值光功率。由光學非線性效應引起的相干光散射降低了放大器的效率，并且導致其他不良后果。然而，更重要的是，強激光脈沖的高峰值功率，達到了放大器系統中元件的材料損傷閾值。

CPA通過使用長的光纖或一對衍射光柵，在放大之前展寬激光脈沖來繞過這些限制（見圖1）。在對展寬的脈沖進行放大之后（遠低于放大器元件的光學損傷閾值）排布了一個光柵對，使得脈沖長波部分的光程比短波部分的光程短，從而逆轉早期的脈沖展寬。這一概念提供了一種產生高能量超快激光脈沖的方法，開辟了許多科學應用以及隨后的工業應用。

圖1：Strickland和Mourou在1985年發表的CPA系統示意圖。[1]

Ultrashort pulse, low energy 超短脈沖，低能量

Chirped pulse, low energy 啁啾脈沖，低能量

Chirped pulse, high energy 啁啾脈沖，高能量

Seed oscillator 注入種子光的諧振腔

Stretcher 展寬器

Amplifier 放大器

Ultrashort pulse, high energy 超短脈沖，高能量

Compressor 壓縮器

背 景

20世紀90年代早期，鈦寶石（Ti:sapphire）激光器是研究市場的流行工具。其寬可調帶寬、短脈沖和高能量，使得研究許多新穎的應用成為可能。多光子成像一直是受益于此能力的成功應用之一。

盡管取得了這些成就，但這種早期技術由于其規模和復雜性而未能在商業上廣泛部署。隨著光通信的發展，基于光纖的飛秒激光技術得到了長足的改進，部分地克服了鈦寶石激光器的缺點；但由于仍然存在功率和脈沖能量低的問題，因此取得的成功是有限的。最后，CPA技術與光纖激光器的發展相結合，實現了前所未有的市場應用和機會。

由于CPA的發明是公開的，許多學術和商業組織將這一概念運用于驚人的應用中，并且受益良多。1999年，美國加州理工學院的Ahmed Zewail因使用飛秒光譜學研究化學反應的過渡態而獲得了諾貝爾化學獎。

飛秒激光在非學術領域的首次大規模應用是在眼科領域。高強度飛秒脈沖，是在沒有熱損傷的情況下分離透明生物組織的理想工具。在用準分子激光器重塑角膜基質之前，通過飛秒激光產生角膜瓣，已經在視力矯正方面實現了商業化。

今天，全飛秒激光角膜視力矯正已成為可能。基于光纖的CPA（FCPA）已被證明是這種先進眼科應用的理想選擇，因為它的可靠性支撐了光學性能。

21世紀初期的經濟放緩，為幾項新技術的發展開辟了道路。其中最重要的是人們對高功率激光光源的興趣，激發了對包層泵浦光纖放大器和高功率固態激光器的興趣。這些發展的早期應用包括元件和儀器測試，以及國防相關應用的材料損傷分析。

材 料 加 工

與此同時，在材料加工領域，皮秒脈沖激光器被認為是優于納秒激光器的新工具。皮秒脈沖的使用減少了材料的熱損傷，從而使激光能夠更廣泛地滲透到制造業領域，例如用于打標、鉆孔和切割。

盡管如此，由于飛秒激光技術的特性及其對材料加工的顯著改進，使得飛秒激光器在許多應用中已經成為“必須”的工具。IMRA America公司在2002年首次生產出用于材料加工的微焦量級的商業化飛秒FCPA激光器。[2]基于光纖技術，FCPA成為構建高峰值功率、高平均功率和高脈沖能量飛秒激光器的常用手段。

大體上說，飛秒脈沖激光器對熱影響區（HAZ）減少的水平，是其他激光器無法比擬的。接近手術水平地將能量輸送到工件，為FCPA在精密消費電子零件制造（包括顯示器行業）領域的應用打開了大門。

飛秒激光器在切割硅晶圓方面的應用一直備受關注，因為飛秒激光脈沖的高峰值功率，可用于消融硅晶圓和其他沉積在硅晶圓表面的材料，并且對相鄰組件的影響或熱損傷最小。通常，這些硅晶圓預先配置了切割通道。這些通道也用于芯片分割之前的探測和測試。因此，切割通道填充有傳感器和探測點。在這種情況下，飛秒光束用于去除那些附加的表面層，同時支持硅晶圓的隱形切割。由于飛秒激光脈沖在堅硬、透明藍寶石襯底中獨特的強非線性吸收，飛秒激光器也是從藍寶石晶圓中分離出高亮度LED芯片的理想選擇。

玻 璃 加 工

一直以來，消費電子行業切割和加工玻璃的主要方法都是機械方法。然而，使用飛秒脈沖激光加工玻璃的應用正在興起。通孔鉆孔是一個例子，利用飛秒光束輻照玻璃，引起折射率變化。然后在酸浴中刻蝕玻璃，去除被輻照區域。這些零件用于多芯片平臺，產生高密度和快速芯片連接結構，使得垂直集成IC成為可能。

另一種應用是在玻璃上刻圖和去除薄膜，就像對導電氧化銦錫（ITO）薄膜、電致變色薄膜和其他薄膜所做的處理一樣。

玻璃焊接也是一個感興趣的話題，因為它不使用粘合劑或填料。這一點對于微電子封裝行業非常重要，因為它消除了內部污染和除氣的問題，并且省去了吸氣劑的使用（專門添加的物質用于吸收這些不需要的物質）。在這個過程中，兩個玻璃零件光學接觸，并暴露于飛秒激光束中：飛秒脈沖的高峰值功率在玻璃中引起多光子吸收，局部熔化玻璃，以此將兩個零件焊接在一起，并產生持久的氣密封（見圖2）。

圖2：從頂部看到，兩個玻璃基板已經通過飛秒激光焊接，留下四條由光學條紋包圍的垂直焊接線；插圖所示為其中一條線的特寫，表明焊縫寬度為100μm。

汽 車 行 業

飛秒脈沖激光在制造業的應用將持續發展和擴張。由于汽車行業需要高穩定性、高可靠性以及創新性，因此飛秒脈沖激光備受汽車行業的關注。例如，目前飛秒激光器已經用于發動機零件（包括活塞）的大批量處理（見圖3）。

圖3：一家主流汽車制造商生產的飛秒激光紋理加工的活塞；表面紋理應用于裙邊區域，以減少摩擦，提升潤滑功能。

提高汽車燃油經濟性的努力，正在推動減輕車輛重量和提高運行效率方面的工作。發動機由更輕的鋁合金制成，而表面紋理和排線被應用于移動部件，以減少摩擦同時提高耐久性。這些合金的使用，迫切需要減少磨損和延長使用壽命的工程解決方案。與其他技術相比，例如機械刻劃表面、長脈沖激光打標，或者表面噴丸處理，飛秒激光交叉排線能夠有效地擴散相關油膜，并且顯著改善油保留。

這種紋理通常應用于活塞的裙部區域，經歷大部分接觸，結果表明在2000rpm的轉速時，可減少高達25%的摩擦。飛秒激光器的使用還避免了劃線區域毛刺的形成，從而省去了對去毛刺工藝的需求，進一步提高了制造效率。

FCPA在從醫療到汽車等各個市場領域的商業化，一直是可靠和創新產品工程的驅動力。特定應用的可靠性、激光行業測試標準和測試協議的發展相結合，使得飛秒激光在要求嚴苛的應用中實現不間斷運行成為可能。

參考文獻

1. D. Strickland and G. Mourou, Opt. Commun., 56, 3, 219 (Dec. 1, 1985).

2. See http://bit.ly/femtosecondref2.