蘇州硅時代電子科技有限公司（Si－Era），位于國內(nèi)最的大的MEMS產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)——蘇州納米城。利用MEMS領域近20年的技術積累，在MEMS傳感器、生物MEMS、光學MEMS以及射頻MEMS方面都擁有大量的設計和工藝經(jīng)驗。

微納米加工的圖形化工藝主要分為圖形轉(zhuǎn)移和直接加工兩種技術，圖形轉(zhuǎn)移技術包括三個部分：薄膜沉積，圖形成像，圖形轉(zhuǎn)移。而直接加工的激光束蝕刻技術具備直寫能力，避免的圖形轉(zhuǎn)移的多步工藝，通過控制聚焦的高能激光（短波／脈沖）束直接在刻蝕材料制作微細結(jié)構(gòu)，具備微米／亞微米的薄膜蝕刻加工精度，適用于多種材料，實現(xiàn)三維的微結(jié)構(gòu)的制作。

微納制造技術是指尺度為毫米、微米和納米量級的零件，以及由這些零件構(gòu)成的部件或系統(tǒng)的設計、加工、組裝、集成與應用技術。傳統(tǒng)“宏”機械制造技術已不能滿足這些“微”機械和“微”系統(tǒng)的高精度制造和裝配加工要求，必須研究和應用微納制造的技術與方法。微納制造技術是微傳感器、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)和功能微納系統(tǒng)制造的基本手段和重要基礎。

微納制造包括微制造和納制造兩個方面。

（1）微制造 有兩種不同的微制造工藝方式，一種是基于半導體制造工藝的光刻技術、LIGA技術、鍵合技術、封裝技術等，這些工藝技術方法較為成熟，但普遍存在加工材料單一、加工設備昂貴等問題，且只能加工結(jié)構(gòu)簡單的二維或準三維微機械零件，無法進行復雜的三維微機械零件的加工；另一種是機械微加工，是指采用機械加工、特種加工及其他成形技術等傳統(tǒng)加工技術形成的微加工技術，可進行三維復雜曲面零件的加工，加工材料不受限制，包括微細磨削、微細車削、微細銑削、微細鉆削、微沖壓、微成形等。

（2）納制造 納制造是指具有特定功能的納米尺度的結(jié)構(gòu)、器件和系統(tǒng)的制造技術，包括納米壓印技術、刻劃技術、原子操縱技術等。