大族激光8月10日在互動平臺表示,公司在研光刻機項目分辨率3-5μm,主要聚焦在分立器件、LED等方面的應用,目前已接到少量訂單。
光刻機是制造芯片的核心裝備。它采用類似照片沖印的技術,把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印制到硅片上。而光刻機是中國芯片發展的最大障礙。
眾所周知,高端芯片制造所需的光刻機一直以來被荷蘭ASML公司壟斷,一臺精密光刻機售價上百億,而我國半導體行業起步較晚,光刻機技術與ASML的差距非常大。
具體地,我國光刻機最高技術也就上海微電子所生產的90nm光刻機。除此之外,目前合肥芯碩半導體公司也具備量產200nm光刻機的實力,無錫影幻半導體公司也具備200nm光刻機量產的實力。而ASML則在7nm級別。
簡單來看,這些數字差距可能看起來不大,但事實上,90nm跟28nm或者是7nm是千差萬別的,光刻機每上一個臺階技術難度就會大大增加,可能從90nm升級到65nm并不難,但是從65nm升級到45nm,就是一個技術節點了,至于28nm、14nm和7nm,甚至未來有可能出現的3nm,那難度就更大了。也正因為如此,我國的光刻機的研發進度一直都比較緩慢。
據有關媒體報道,光刻機正成為華為的第四場戰役。據悉,余承東在一次百人大會上的時候透露過,早在四年前,華為就已經為接下來集團的布局做好準備了,他們在2016年的時候就已經成立了團隊去研發光刻機,現在已經取得了很大的進展。
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