9月22日，大族激光科技產業集團股份有限公司（下稱“大族激光”）在互動平臺回復投資者關于研發光刻機技術的問題表示，公司光刻機項目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等方面的應用。

大族激光表示，公司和荷蘭阿斯麥公司沒有合作。荷蘭阿斯麥（ASML）是全球領先的半導體行業光刻系統供應商，負責設計和制造光刻機。

此外，在回復投資者關于公司三季度訂單情況時，大族激光稱，公司三季度訂單充足，產能利用率情況良好。公司應用于第三代半導體的設備已經實現批量銷售。

大族激光1996年創立于深圳，是亞洲最大、世界排名前三的工業激光加工設備生產廠商，主要產品包括激光打標機系列、激光焊接機系列、激光切割機系列、新能源激光焊接設備、激光演示系列、PCB鉆孔機系列、工業機器人等多個系列200余種工業激光設備及智能裝備解決方案。