大族激光近期在接受機構調研時表示，目前，公司光刻機項目主要應用在分立器件領域，分辨率3-5μm；其中，接近式光刻機已投入市場，步進式光刻機已啟動用戶優化。

大族激光成立于1996年，于2004年上市。公司致力于工業激光加工設備與自動化等配套設備及其關鍵器件的研發、生產和銷售。

大族激光表示，目前，公司激光設備在薄膜電池領域國內市占率一直位于市場前列，在鈣鈦礦電池行業幾家龍頭、前沿研究機構均取得激光設備的交付銷售，及大尺寸激光加工設備的整線交付。

公司在TOPCON領域產品布局完整，逐步具備TOPCON電池全產業鏈設備研發制造能力；在HJT電池已布局PECVD、PVD等設備產品。公司現有研發項目包括低壓硼擴散爐、Topcon激光摻硼設備、LPCVD設備等，低壓硼擴散爐、Topcon激光摻硼設備處于客戶驗證階段。