• <ul id="ikuqo"></ul>
    <tfoot id="ikuqo"></tfoot>
    <tfoot id="ikuqo"></tfoot>
  • <ul id="ikuqo"><sup id="ikuqo"></sup></ul>
  • 閱讀 | 訂閱
    閱讀 | 訂閱
    技術前沿

    中科院上海光機所在等離子體增強原子層沉積HfO2薄膜激光損傷閾值方面取得新進展

    激光制造網 來源:中科院上海光機所2023-06-21 我要評論(0 )   

    近期,中國科學院上海光學精密機械研究所薄膜光學實驗室朱美萍研究員團隊在等離子體增強原子層沉積(PEALD)HfO2薄膜的激光損傷閾值(LIDT)方面取得新進展。相關研究成...

    近期,中國科學院上海光學精密機械研究所薄膜光學實驗室朱美萍研究員團隊在等離子體增強原子層沉積(PEALD)HfO2薄膜的激光損傷閾值(LIDT)方面取得新進展。相關研究成果發表在Journal of Alloys and Compounds上。

    1

    PEALD具有精確的厚度可控性,基于該方法的HfO2/SiO2三倍頻減反射膜性能優良。然而,PEALD HfO2薄膜中的高雜質含量和非化學計量比導致其LIDT較低,是限制三倍頻激光薄膜LIDT提高的主要原因。因此,如何提高PEALD HfO2薄膜的LIDT成為了研究重點。

    2

    圖1.不同溫度下氧氣退火的HfO2薄膜的XPS能譜:(a)Hf 4f,(b)C 1s,(c)N 1s和(d)O 1s

    研究人員將PEALD HfO2薄膜在不同氣氛和不同溫度下進行了退火處理,研究了對HfO2薄膜表面形貌、晶體結構、化學成分和LIDT(激光脈寬:7.8 ns,激光波長:355 nm)的影響。實驗結果表明,在氧氣氣氛下退火更有利于雜質化合物(碳酸鹽和胺)的分解和缺氧狀態的改善。與退火前相比,在氧氣氣氛特定溫度下退火的HfO2薄膜具有更低的C和N雜質含量,更高的化學計量比,從而具有更低的吸收和更高的LIDT。該實驗為PEALD氧化物薄膜和其他含有類似雜質的氧化物薄膜的性能改善提供了參考,有利于相關激光薄膜LIDT的提高。

    3

    圖2.不同溫度下氧氣退火的HfO2薄膜:(a)雜質含量,(b)O/Hf比,(c)吸收和(d)LIDT


    轉載請注明出處。

    中科院上海光機所,光電,激光,激光企業,激光制造,激光器
    免責聲明

    ① 凡本網未注明其他出處的作品,版權均屬于激光制造網,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用。獲本網授權使用作品的,應在授權范圍內使 用,并注明"來源:激光制造網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關責任。
    ② 凡本網注明其他來源的作品及圖片,均轉載自其它媒體,轉載目的在于傳遞更多信息,并不代表本媒贊同其觀點和對其真實性負責,版權歸原作者所有,如有侵權請聯系我們刪除。
    ③ 任何單位或個人認為本網內容可能涉嫌侵犯其合法權益,請及時向本網提出書面權利通知,并提供身份證明、權屬證明、具體鏈接(URL)及詳細侵權情況證明。本網在收到上述法律文件后,將會依法盡快移除相關涉嫌侵權的內容。

    相關文章
    網友點評
    0相關評論
    精彩導讀
    主站蜘蛛池模板: 中文字幕曰产乱码| 风间由美中出黑人| 韩国伦理片久久电影网| 日韩av片无码一区二区三区不卡| 天天干天天操天天操| 亚洲色大情网站www| 97在线观看中心| 日韩精品第一区| 国产日韩精品视频| 免费人成激情视频在线观看冫 | 久久99精品一区二区三区| 理论片在线观看韩影库| 在线免费不卡视频| 亚洲中文字幕在线观看| 色吊丝永久性观看网站| 小sao货水好多真紧h视频| 亚洲精品福利网泷泽萝拉| 69国产精品视频免费| 欧美亚洲国产精品久久高清| 国产麻豆欧美亚洲综合久久| 亚洲中文字幕无码专区| 特区爱奴在线观看| 国产精品久久久久久福利| 久久精品视频一区| 精品中文字幕在线| 国产视频一二区| 久久精品国产99国产精品亚洲| 精品久久久噜噜噜久久久| 国产无遮挡又黄又爽在线观看| 丰满人妻被黑人中出849| 欧美色图23p| 国产大片内射1区2区| 一级看片免费视频囗交| 欧美va在线观看| 四虎影视无码永久免费| av72发布页| 日本三级生活片| 免费成人福利视频| 18禁无遮挡羞羞污污污污免费| 成人毛片18岁女人毛片免费看| 亚洲自国产拍揄拍|