該研究成果以“High-Performance Silicon Photonic Filter Using Subwavelength-Structure Multimode Waveguide Gratings”為題于2023年11月發表于光學領域權威期刊《Laser & Photonics Reviews》。

眾所周知，光濾波器通常是基于雙光束干涉或多光束干涉原理，其工作波長范圍往往受限于其自由頻譜范圍FSR。近日，浙江大學光電科學與工程學院/極端光學技術與儀器全國重點實驗室戴道鋅教授課題組對此進行了深入研究，提出了亞波長結構多模波導光柵（MSWG）的創新結構（圖1）。其原理是：利用亞波長結構色散調控機制從根本上突破其FSR限制，同時利用其靈活的模場調控實現頻譜靈活調控，使之具有低損耗、高邊模抑制比及方形譜型等優異性能，為突破硅光濾波器性能瓶頸提供了新路徑。

在該工作中，所研制MSWG光濾波器巧妙地利用了布拉格光柵折射率工程，使整個光柵各個位置的局域等效折射率幾乎為恒定值，從而有效地抑制了旁瓣并增加了帶寬設計靈活度。更重要的是，這種振幅切趾的亞波長光柵不僅能實現高邊模抑制比，還能避免正反向基模間耦合以及由此導致的FSR受限的問題（如圖2所示）。此外，研究表明，通過調整光柵齒深，其帶寬可根據實際需要在1-200 nm超大范圍內進行靈活設計。所研制MSWG光學濾波器測試頻譜如圖3所示，具有低損耗（~1 dB）、高邊模抑制比（>20dB）、大帶寬（~13 nm）的優異性能，而通過級聯結構還可進一步將其邊模抑制比提升至40dB以上。更重要的是，該光濾波器的在1450nm以上的超大波長范圍都只有一個帶通，表明其突破了FSR限制。同時，通過調整 MSWG結構參數，還可實現超大帶寬硅光濾波器（如圖4所示），其帶寬>160 nm，是迄今報道的片上光濾波器最大帶寬。總體而言，這種突破帶寬及FSR限制的硅光濾波器展示了其優異性能和突出的擴展性，在超寬帶片上光譜儀和多通道波分復用系統等實際應用中都具有巨大潛力。

Dajian Liu, Jianghao He, Mingyu Zhu, Yuluan Xiang, Long Zhang, Ming Zhang, Yang Xu, Daoxin Dai*, High-Performance Silicon Photonic Filter Using Subwavelength-Structure Multimode Waveguide Gratings, Laser & Photonics Reviews, 2023, 2300485