據國家知識產權局公告,海目星激光科技集團股份有限公司取得一項名為“紫外激光諧振腔、激光器、及激光加工裝置”,公開號CN220042573U,專利申請日期為2023年。
專利摘要顯示,本實用新型提出了一種紫外激光諧振腔、激光器、及激光加工裝置,涉及激光技術領域。根據第一方面的一種紫外激光諧振腔,包括:起點反射鏡、終點反射鏡、第一中繼反射鏡以及第二中繼反射鏡,進入諧振腔的光束在起點反射鏡和終點反射鏡之間往返,第一中繼反射鏡和第二中繼反射鏡設置在起點反射鏡和終點反射鏡之間的光軸上,從起點反射鏡向終點反射鏡傳播的光束,依次經過第一中繼反射鏡、第二中繼反射鏡和終點反射鏡;設置在光軸上的激光晶體、光調制器以及倍頻晶體。通過在諧振腔中設置光調制器和倍頻晶體,使得諧振腔能控制腔內激光的Q值,從而輸出高功率的激光脈沖。
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