嘉賓介紹:

• 英諾激光光伏總經(jīng)理 晏博士

• 英諾激光董事會(huì)秘書 張勇

•  晏博士

阿秒激光器：?jiǎn)畏菽芰堪l(fā)出的持續(xù)時(shí)間10^-18秒的量級(jí)，脈沖激光器（光伏中應(yīng)用最多的激光器之一）的一種，目前多用于科學(xué)研究領(lǐng)域。

圖中10^-18s以上的激光器已被廣泛應(yīng)用于泛半導(dǎo)體領(lǐng)域。

為什么要把脈沖寬度做窄？

微觀粒子通過碰撞傳熱，熱輸入后會(huì)被迅速傳導(dǎo)到其他地方，破壞材料。當(dāng)把脈沖壓縮到微觀粒子的傳導(dǎo)時(shí)間，材料來不及發(fā)生熱傳導(dǎo)就被融解，可以實(shí)現(xiàn)冷加工。

左圖：連續(xù)激光，相當(dāng)于能量持續(xù)輸入。

右圖：脈沖激光。

激光與材料的作用過程

1）連續(xù)激光：在材料表面產(chǎn)生更大的熱影響區(qū)。

2）脈沖寬度壓縮到納秒量級(jí)：瞬間氣化材料表面，同時(shí)產(chǎn)生沖擊波。

3）脈沖寬度壓縮到皮秒/飛秒量級(jí)（小于絕大多數(shù)材料晶格的碰撞系數(shù)）：晶格在震動(dòng)之前，材料就被氣化，依然會(huì)產(chǎn)生沖擊波，有少許機(jī)械損失。

脈沖激光作用下，材料內(nèi)部的物理模型

左圖：長(zhǎng)脈沖（納秒量級(jí)以上），所有物理?yè)p傷都會(huì)產(chǎn)生，表面的破壞接近熔坑的重熔和內(nèi)部的熱影響區(qū)，破壞材料原有晶胞大小（變大）。

右圖：脈沖壓縮到皮秒/飛秒量級(jí)，表面幾乎沒有破壞，材料得到很好的保護(hù)。

脈沖激光作用下，材料表面的物理模型

激光與材料發(fā)生高能、瞬間的反應(yīng)，導(dǎo)致等離子體飛濺。

優(yōu)點(diǎn)：快速帶走材料。

缺點(diǎn)：附近區(qū)域產(chǎn)生粉塵，1，造成污染擴(kuò)散；2，形成等離子體云，阻擋后續(xù)激光輸入，導(dǎo)致工藝不穩(wěn)定。（例如：BC電池開膜時(shí)）。

直接減材法：已經(jīng)用于BC量產(chǎn)的技術(shù)

原理：超短脈沖打掉表面材料。

優(yōu)點(diǎn)：可作用于任意區(qū)域。

公司可以提供多種激光器：波長(zhǎng)最短可實(shí)現(xiàn)266nm，脈寬最短做到百飛秒級(jí)（工業(yè)應(yīng)用端）。

公司主要做固體激光器，固體激光器是超快激光器的主流路線。

圖（1，1）：氮化硅上開膜，355nm皮秒激光器（波長(zhǎng)越短，激光能量越高，聚焦性越好，將激光定位在前表層）。該應(yīng)用上，公司追求光斑尺寸的極致控制，在金字塔表面開小窗口，給電路工藝提供良好的基礎(chǔ)。

圖（2，1）對(duì)應(yīng)電鏡結(jié)構(gòu)圖，表明開槽對(duì)底部材料沒有任何損傷。

圖（1，2）PSG上大規(guī)模開模，尺寸達(dá)240um。該應(yīng)用上，公司追求開模效率和底部平坦。

圖（1，3）1064nm近紅外飛秒激光器。該應(yīng)用是打掉硅上的銀，右邊是銀，左邊是硅。

開槽尺度情況

納秒激光器：百納米～微米量級(jí)。

飛秒激光器：略小于納秒，做不到幾納米，但是表面形貌更好。

如右圖，515nm激光器開槽底部更平坦。

間接減材法：功率器件、芯片制造等領(lǐng)域有應(yīng)用。

最常見的是激光成像曝光（LDI），利用藍(lán)紫光激光器，通過數(shù)字or 光學(xué)掩膜完成曝光，成本相對(duì)較高，光伏未必能接受。

激光輔助化學(xué)腐蝕是一種替代方案，用激光對(duì)相應(yīng)區(qū)域的材料進(jìn)行改性，使得在強(qiáng)酸強(qiáng)堿中表現(xiàn)出不同的腐蝕速度。

增材法：工藝相對(duì)復(fù)雜，多用于泛半導(dǎo)領(lǐng)域。

選區(qū)需求下將展現(xiàn)出競(jìng)爭(zhēng)力。尤其是激光可以柔性加工，嵌入到制造環(huán)節(jié)縮短BC電池工藝步驟，所以公司看好這個(gè)方向。

以下三種是未來有望用于光伏的技術(shù)：

1）脈沖激光沉積：超短脈沖激光器，高能量、短時(shí)間打在靶材上，通過靶材轟擊讓材料沉積到目標(biāo)材料。現(xiàn)在的尺度可以做到百納米～微米量級(jí)。典型應(yīng)用：導(dǎo)電圖形、鈍化圖形。

2）激光誘導(dǎo)熱氧化：原理和熱氧一致，區(qū)別在于激光可以自主圖形化，在選區(qū)結(jié)構(gòu)上非常有利。現(xiàn)在尺度可以做到幾十納米以下。

3）激光誘導(dǎo)相變：比熱影響區(qū)更溫柔的反應(yīng)。相對(duì)成熟的應(yīng)用：誘導(dǎo)單晶硅相變成多晶，改變材料電、光、磁性能，可以制造選區(qū)poly層，制造圖形化隧穿層。

激光與金屬化重點(diǎn)關(guān)注3個(gè)方面

1）激光沖擊強(qiáng)化：激光作用在柵線周圍區(qū)域，產(chǎn)生光生載流子，利用光伏效產(chǎn)生電流，沖擊歐姆接觸不良的位置，獲得更良好的歐姆接觸。同時(shí)結(jié)合燒結(jié)工藝，強(qiáng)化柵線。

2）LSP使激光直接燒結(jié)成為可能。有望結(jié)合燒結(jié)、彌補(bǔ)燒結(jié)窗口兩個(gè)工藝。

3）激光蝕刻?電鍍：用365年nm激光器開槽，應(yīng)用于電鍍銅環(huán)節(jié)，目標(biāo)實(shí)現(xiàn)圖形化替代絲網(wǎng)印刷。

公司QuaPulse技術(shù)：

精準(zhǔn)控制窗口和深度。單一波長(zhǎng)做時(shí)，為了延伸擴(kuò)散長(zhǎng)度，必須選擇拉長(zhǎng)的脈沖寬度，增大對(duì)材料表面的破壞。解決方案是多波長(zhǎng)組合，長(zhǎng)波長(zhǎng)實(shí)現(xiàn)深層開槽，短波長(zhǎng)做淺表面開槽。

公司其他有望應(yīng)用于光伏領(lǐng)域設(shè)備

公司概況

英諾光伏設(shè)備（江蘇）有限公司，是英諾激光投資設(shè)立的新能源產(chǎn)業(yè)全資子公司，專注于光伏電池，組件自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)和制造。

     公司已成功研發(fā)并推向市場(chǎng)的量產(chǎn)設(shè)備有TOPCon電池激光SE直摻設(shè)備，激光沖擊強(qiáng)化LSP量產(chǎn)設(shè)備，激光超細(xì)柵設(shè)備，BC電池激光開膜設(shè)備等。英諾光伏設(shè)備（江蘇）有限公司背靠英諾激光，除了有光伏自動(dòng)化能力之外，還有強(qiáng)大的激光器技術(shù)和光學(xué)工藝開發(fā)能力，在行業(yè)中獨(dú)樹一幟

01  TOPCon電池激光SE直摻設(shè)備

02  激光沖擊強(qiáng)化LSP量產(chǎn)設(shè)備

03BC電池激光開膜設(shè)備

QuaPulse?

更強(qiáng)大的激光技術(shù)

隨著激光技術(shù)在精密加工，醫(yī)學(xué)成像，光學(xué)檢測(cè)等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，常規(guī)的激光調(diào)控手段，如脈沖能量調(diào)制，空間聚焦等手段已經(jīng)無法滿足精益求精的應(yīng)用。

     英諾激光自研通過更復(fù)雜的激光脈沖調(diào)控手段，例如脈沖形態(tài)、脈沖間隔、空間能量分布、波長(zhǎng)組合等各種形式調(diào)控，獲得更加卓越的效果。并開發(fā)了各種配套的控制器、光學(xué)系統(tǒng)、軟件、激光器等，將其應(yīng)用到了各種領(lǐng)域。

     QuaPulse^TM激光時(shí)空調(diào)制技術(shù)通過多維度精準(zhǔn)調(diào)制手段，可實(shí)現(xiàn)更加復(fù)雜的摻雜調(diào)控。表現(xiàn)為方阻調(diào)控范圍大，損傷小且可控。

XBC激光開膜技術(shù)

激光開槽技術(shù)在 XBC 電池上的應(yīng)用主要為刻蝕掩膜、制備 PN 區(qū)交叉指結(jié)構(gòu)；PN 區(qū)隔離及鈍化膜開槽。XBC電池因其單面發(fā)電量高且美觀，適宜高端分布式使用。

英諾-激光器

     英諾532nm綠光皮秒激器單脈沖能量可達(dá)300μJ以上，優(yōu)越的光束質(zhì)量（M²<1.1）和完美的光斑圓度（>95%）及脈沖穩(wěn)定性，滿足大光斑整形的需求及XBC電池開膜的能量需求。

近日，英諾激光LSP技術(shù)再次實(shí)現(xiàn)突破，助力TOPCon電池效率突破26.2%，效率增益達(dá)0.3%以上，開壓高達(dá)732mV。

激光沖擊強(qiáng)化LSP量產(chǎn)設(shè)備

—英諾光伏設(shè)備(江蘇)有限公司—

英諾激光LSP量產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)正式推出，現(xiàn)面向整個(gè)行業(yè)推廣。LSP技術(shù)的量產(chǎn)導(dǎo)入可以快速實(shí)現(xiàn)TOPCon電池的降本增效，提高電池片檔位和組件功率，為高效晶硅電池的發(fā)展注入強(qiáng)勁動(dòng)力。目前已獲得批量訂單。

TOPCon SE技術(shù)助力

光伏客戶降本增效

近日，英諾激光戰(zhàn)略合作客戶普樂科技（POPSOLAR）N型TOPCon電池經(jīng)德國(guó)萊茵TüV集團(tuán)效率測(cè)試認(rèn)證。公司所提供的激光SE直摻設(shè)備獲得客戶高度認(rèn)可，并獲得越來越多頭部客戶的訂單。

一

助力客戶電池效率提升

效率測(cè)試認(rèn)證

在此次效率測(cè)試認(rèn)證中，TüV萊茵依據(jù)IEC 60904-1:2020、IEC 60904-1-2:2019、IEC 60891:2021、IEC 60904-7:2019、IEC 60904-8:2014技術(shù)規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)要求，對(duì)普樂科技N型TOPCon電池進(jìn)行了電性能全面測(cè)試。

普樂科技泰興基地一期TOPCon電池片項(xiàng)目于5月18日正式下片后，在團(tuán)隊(duì)夜以繼日的共同努力下，生產(chǎn)線效率和良率快速爬升。其中，公司的激光SE設(shè)備及工藝助力客戶量產(chǎn)電池提效達(dá)0.25%以上，贏得了客戶的高度認(rèn)可！

開發(fā)專用激光器及光學(xué)系統(tǒng)

第三代TOPCon激光SE設(shè)備