伴隨著現代光學技術的發展，熔石英元件紫外激光誘導損傷問題嚴重制約了高功率激光系統的發展。目前接觸式研拋工藝不可避免地會產生亞表面缺陷，且難以被后處理完全去除，這嚴重縮短了熔石英元件使用壽命。與此同時，傳統的亞表面缺陷檢測方法只能對局部信息進行間接測量，難以表征深亞表面缺陷。

在之前的研究中【Light: Advanced Manufacturing 4(3), 181-194 (2023), Optics Express 31(22), 36359-36375 (2023)】，研究團隊基于微秒脈沖激光低應力均勻燒蝕技術提出了激光層析燒蝕表征亞表面缺陷的方法，并將其耦合到材料快速去除過程中，實現了對亞表面缺陷深度、分布等信息的定量獲取及有效去除。

在本項工作中，研究人員建立了考慮光場調制的激光層析燒蝕多物理場模型，并采用飛秒激光預制了不同形貌的亞表面缺陷，準確預測亞表面缺陷深度數值，揭示亞表面缺陷在激光逐層燒蝕下的演化規律，并提出亞表面缺陷深度演變的三個階段。這表明采用本方法不會導致亞表面缺陷的延伸，從而驗證了利用激光層析燒蝕去除并表征亞表面缺陷的可行性與準確性。