激光可在指甲蓋大小的玻璃晶圓或面板上打出100萬個微孔,使用金屬填充后,就能串聯起復雜的集成電路“高樓大廈”。
日前,央視報道我國科學家團隊在“玻璃基封裝”技術研發領域實現重要突破,有望助力我國芯片制造“彎道超車”。
5月9日,記者從武漢東湖高新區了解到,實現“玻璃基封裝”技術突破的關鍵設備——玻璃通孔激光設備由光谷企業帝爾激光自主研發。
封裝是芯片制造過程中的關鍵環節。隨著傳統光刻技術逐漸接近極限,芯片封裝的重要性被提升至前所未有的高度,被視為人工智能時代芯片研發制造的重要技術基礎。
相比于目前常見的有機基板、陶瓷基板和硅基板封裝,“玻璃基封裝”具備原材料易獲取、工藝流程相對簡單、機械穩定性強、應用領域廣泛等優點,是業界公認的下一代先進封裝技術,
帝爾激光總經理助理葉先闊介紹,公司在光伏領域深耕10余年,自主研發的光伏激光設備占據全球八成以上市場,具備深厚技術功底。此次曝光的玻璃通孔激光設備,核心參數“徑深比”可達1:100,具備世界領先水平。
葉先闊認為,舍得在研發上投放資源,是企業加快形成高水平科技自立自強的關鍵路徑。2023年,帝爾激光研發費用達2.51億元,營收占比達15.58%,同比2022年增長超過90%。2024年一季度,研發費用為6996萬元,相比去年同期增幅超60%。他表示,帝爾激光將錨定光伏、半導體、新型顯示等領域,重點研發“從0到1”的技術,持續探索激光應用“無人區”。
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