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- 2020-11-15 23:30中國第一的激光巨頭，量產光刻機，90%的核心部件自產
- 2020-10-29 11:25從小作坊到全球第三！中國激光巨頭凈賺10億，決心攻克光刻機
- 2020-10-28 09:47中科院：通過激光達到5nm實驗室光刻精度
- 2020-09-23 13:55大族激光：光刻機項目分辨率3-5μm，和阿斯麥沒有合作
- 2020-09-22 10:262020年德國未來獎頒給通快、蔡司和弗勞恩霍夫的EUV光刻開發人員
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