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    光學平臺
    

    

    

    Zygo NewView5020 表面輪廓儀
    

    
 星之球科技 來源：中科院大連物理化學研究2011-07-29
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    Technical Performance Vertical (Z) Scan Range: 5 mm Vertical (Z) Scan Rate: 10 mm/sec Vertical (Z) Resolution: 0.1 nm Lateral (X, Y) Resolution Range: 0.45 1...
    

    

    

     
    


    
 
    

    Technical Performance
    

    ·Vertical (Z) Scan Range: < 5 mm 
    

    ·Vertical (Z) Scan Rate: < 10 mm/sec 
    

    ·Vertical (Z) Resolution: > 0.1 nm 
    

    ·Lateral (X, Y) Resolution Range: 0.45 – 11.8 mm 
    

    ·Field of View Range: 0.04 – 17.5 mm; larger areas can be imaged with field stitching capability 
    

    ·Step Height Accuracy: < 0.75% (Model 5032) 
    

    ·Step Height Repeatability: < 0.1% (Model 5032)
      
    

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