4 在厚板切割方面的應用

　　利用YAG激光拆除廢爐的切割技術，要求把由切割所引起的二次生成物控制在最小限度，要求切割速度比以往的等離子切割高，切割厚度視切割材料和切割爐體的不同而有所不同，這里研究了板厚100mm以內碳鋼的切割。

　　圖7示出切割板厚極限和激光輸出的關系。對0.05m/min及0.2m/min的切割速度進行了研究。從研究結果中可以看出，切割100mm的厚板時目前需要7~8kW的激光輸出。圖8示出用3.8kW切割厚45mm的碳鋼和SUS304所得到的切割剖面。從圖中可以看出，可進行彎曲幅度在2mm以下的高質量分離切割。圖9示出板厚100mm時的圓錐狀樣品的切割結果。因此，如果板增厚，不可避免地會增大切割彎曲幅度。今后，應該研究通過改進光學系統及切割氣體的流向來提高切割質量。

5 加工質量管理

　　原子能領域的焊接其質量管理比較嚴格，要求能長時間穩定地焊接。在廢爐拆除切割方面，從其遠距離操作性來看，加工過程中加工狀況的監視技術是重要的開發項目之一。下面介紹焊接加工中的監視方法。

5.1 加工中焊接狀況的監視

　　圖10示出監視頭的構成。監視時，以光軸和同軸抽出焊接狀況的圖像，同時分光、探測焊接部的發光。為了使熔深加深，采用脈沖振蕩。根據焊接狀況圖像，對熔池形狀和焊接坡口線位置進行圖像處理，并向操作人員提供視覺信息。焊接部的發光抽出，與以前所實施的采用多條監視光纖的方法對應，因為焊接頭所要求的空間制約條件并不嚴格，用一根監視光纖把用半反射鏡分出的光抽出。下表中示出焊接部發光的抽出方法。這里采用的是在抽出焊接參數、激光器輸出、焦點位置變化的同時，探測穿透焊接時內部波穩定性和焊接保護狀況。

　　相對于各種監視對象，激光器輸出和內部波狀態，監視波長取940nm,探測了脈沖斷開時熔化池的發光。從這個波長所使用的傳感器(硅光二極管)的光譜響應特性和監視對象的溫度變化范圍，根據普朗克輻射定律進行波長選定解析，實際上又對各種波長進行了監視，最后選出靈敏度最好的監視波長。關于焦點位置變化，抽出脈沖接通時YAG激光器的反射光，關于保護狀況的穩定性，為了探測更高溫度時激光光圈的發光，把脈沖接通時400nrn的短波長光抽出。

5.2監視結果

　　圖11示出焊接輸出的監視結果與熔深深度的比較。從此結果中可以看出，熔深深度變化0.4mm時，就可探測到輸出功率100W左右的焊接變化。圖12示出焦點位置和YAG激光器反射光及熔深深度的關系。這里雖然采用焦點深度Bf=200mm的大透鏡，但是可以探測士4mm的熔深變化。圖13示出穿透和未穿透時的發光強度變化。穿透焊接時，因為熔融金屬在板內穿過，所以發光強度下降，于是就能探測到可以獲得穩定的內部波焊道的狀態。

　　圖14示出由于保護氣體狀態變化，焊道發生氧化時每個脈沖的發光波形與保護氣體狀態穩定時的比較。從圖中可以看出，由于焊道發生氧化，光圈的發光強度增大。關于以上加工中的監視信息，將根據加工對象的不同靈活使用。

圖14 保護氣體狀態的監視結果

6混合激光焊接

　　為了進一步擴大激光焊接的用途，現開發了一種利用激光焊接和電弧焊接優點的同軸TIG-YAG激光焊接方法。

6.1同軸TIG-YAG激光焊接

　　圖15示出同軸TIG-YAG激光焊接頭的外貌。這種焊接方法，是把從光纖射出的光束分開，將TIG焊極設置在其中央，使光束在TIG焊極頂端下方再次聚光，同軸向同一地方照射聚光光束和TIG弧光，進行焊接。

　　對這一過程中的TIG弧光和YAG激光光束的相互作用進行了研究，研究結果認為弧光及光圈光束吸收可以忽略。圖16示出高速混合焊接時的弧光穩定性與僅用TIG焊接的比較結果。

6.2同軸TIG-YAG激光焊接的效果

　　圖17示出相對#p#分頁標題#e#焊接坡口縫隙余量的同軸TIG-YAG激光焊接的結果。僅用YAG時焊接坡口縫隙為0.4mm時，會產生咬邊。而同軸TIG-YAG激光焊接時焊接坡口縫隙可達0.8mm。圖18示出根據焊接焊道的斷面研究氣孔發生狀況的結果。因為保護氣體中使用了Ar，所以僅采用YAG時不可避免在部分焊道中產生氣孔。而同軸TIG-YAG激光焊接可以控制氣孔的發生，如圖19所示，這是因為同軸TIG-YAG激光焊接比單用YAG時栓孔上部的孔徑大，金屬蒸汽容易排出。

圖19 栓孔孔徑大小的比較

7 今后的發展

　　要想擴大激光加工在厚板領域的應用，必須使振蕩器實現高功率輸出，提高光束傳輸性能。高功率YAG激光器的應用越來越廣，今后，應加強加工質量管理，重點開發加工過程中的監視和相應控制技術。但是，擴大應用也與激光器自身的最初成本有很大關系。今后，應開發價廉的高輸出二極管抽運YAG激光器或直接加工用的半導體激光器(LD)，以擴大應用領域。