為了保證微小孔加工具有良好的尺寸精度、圓度及平直度，重要的前提條件是必須使用進給精度高、穩定性好的機床；尤其應注意的是，大力抑制主軸、夾具、刀具的綜合誤差。

       適用于小直徑孔加工的機床之,配有專用的鉆削附屬裝置，可進行高精度小直徑孔加工。該裝置帶有可進行水平方向、垂直方向調整的導軌，便于與主實現同軸。主軸與鉆頭軸的調直使用專用儀表，可讓兩軸在低速回轉時進行調整，與一般只由鉆頭回轉的加工方法相比，采用主軸與鉆頭軸同時回轉的方式，可獲得更高的同軸度。

       微型鉆頭的柄部形狀大致有兩種，一種是細小直柄，另一種是粗桿直柄。刀具材料仍然以鈷高速鋼為主。近年來，涂層鉆頭和硬質合金鉆頭已大量出現，尤其是細晶粒硬質合金，其耐磨性和韌性均有很大提高，目前已開發出粒徑為0.5μm以下的WC超細晶粒硬質合金，其抗彎強度達500kg/mm2，硬度92.5HRA，用其制作微型鉆頭，切削性能十分理想。

       進行鉆孔作業之前，應使用顯微鏡等對備用鉆頭進行仔細檢查，如果使用研磨精度不高的鉆頭，不僅會降低加工孔的精度，嚴重時還會造成鉆頭折斷。在鉆頭尺寸精度方面，如果是加工不銹鋼或鐵鎳鈷合金等材料，要求其切削刃高度誤差為0.001～0.02mm左右，這可防止刃帶磨損，延長工具壽命。待加工零件要求應具有較高的同軸度、垂直度和良好的表面粗糙度，尤其是鉆頭切入處和出口處，如果精度差，將增大切削刃磨損，甚至造成鉆頭折斷；切入面最好經過磨削或拋光加工，這樣可提高孔的加工精度。另外，中心鉆的鉆尖角必須與所用鉆頭的鉆尖角一致。