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    光學(xué)平臺

    光學(xué)平臺隔振原理與選型

    Julie 來源:Newport理波2016-03-23 我要評論(0 )   

    本次慕尼黑上海光電展期間,我們推出了最新的主動隔振平臺GuardianTM系列。結(jié)合簡約的設(shè)計,先進(jìn)的隔振技術(shù),為超高分辨率顯微鏡和計量學(xué)提供了低頻區(qū)域(0.5-50 Hz)無...

     振動的來源

    大多數(shù)光學(xué)實(shí)驗或工業(yè)生產(chǎn)都對系統(tǒng)穩(wěn)定性有較高的要求。各種因素造成的振動會導(dǎo)致儀器測量結(jié)果的不穩(wěn)定性和不準(zhǔn)確性,嚴(yán)重干擾生產(chǎn)和實(shí)驗的進(jìn)行。

     

    振動來源主要分為來自系統(tǒng)之外的振動和系統(tǒng)內(nèi)部的振動。地面固有振動,工作人員踩踏地板以及開、關(guān)門或墻壁碰撞等通過地面?zhèn)鱽淼恼駝泳鶎傧到y(tǒng)之外的振動,這一類振動需通過光學(xué)平臺的隔振腿衰減;而來自系統(tǒng)內(nèi)部的振動包括儀器振動、氣流、冷卻水流等,則需依靠光學(xué)平臺的桌面阻尼來隔絕。

    振動基本原理

    固有頻率

    固有頻率,顧名思義,為系統(tǒng)本身發(fā)生的振動的頻率。數(shù)值上來看,固有頻率等于共振頻率。考慮物塊與彈性懸臂梁組成的系統(tǒng),固有頻率取決于兩個因素——物塊質(zhì)量,以及充當(dāng)彈簧的彈性懸臂梁的彈性系數(shù)。質(zhì)量減小或彈性系數(shù)減小可增大固有頻率;質(zhì)量增大或懸臂梁彈性系數(shù)增大可降低固有頻率。

     

    (左)質(zhì)量減小可增大固有頻率

    (右)質(zhì)量增大可降低固有頻率

      

    (左)彈簧彈性系數(shù)減小可增大固有頻率。

    (右)彈簧彈性系數(shù)增大(“更柔軟”)可降低固有頻率。

    實(shí)驗室或廠房內(nèi)可能存在的振動源,包括地表的振動(固有頻率 10-5-20 Hz),大型建筑的振動(1 Hz左右),聲音(20 Hz以上),儀器設(shè)備(10 Hz以上)。用戶應(yīng)當(dāng)根據(jù)自身情況,選擇合適的光學(xué)平臺以對振動有效隔絕。

    阻尼

    如果沒有阻尼,系統(tǒng)將在靜止前振動很長一段時間——至少幾秒鐘。阻尼可消耗系統(tǒng)的機(jī)械能,使衰減更迅速。例如,當(dāng)音叉頂端浸入水中時,振動幾乎立即減弱。同樣,當(dāng)手指輕觸共振物塊——懸臂梁系統(tǒng)時,該阻尼裝置也會迅速的消耗振動能量。 

    理想簡諧振動

    一個與理想線性彈簧連接的固定物塊M可產(chǎn)生簡諧振動,如下圖所示。

    彈簧長度變化Δx與應(yīng)力F的關(guān)系可表示為Δx = CF,其中C是彈簧順應(yīng)性系數(shù)(Compliance),與彈簧彈性系數(shù)k成反比:k=1/C。 

    在彈簧——物塊系統(tǒng)中,當(dāng)彈簧末端發(fā)生頻率為,最大振幅為|u|的正弦運(yùn)動時,物塊M將產(chǎn)生最大振幅為|x|,頻率同樣為ω的正弦運(yùn)動。物塊運(yùn)動|x|的振幅與彈簧末端運(yùn)動|u|的振幅的穩(wěn)態(tài)比即振動傳遞率T(Transmissibility),而系統(tǒng)的共振頻率或固有頻率ω0可表示為

     
    固有頻率隨物塊質(zhì)量M或彈簧順應(yīng)性C的增加(更柔軟)而降低。振動傳遞率曲線表征于下圖

     

    該系統(tǒng)三個突出的特征為:

    1)振動頻率遠(yuǎn)低于系統(tǒng)固有頻率時,傳遞率T=1,因此物塊的運(yùn)動幅度與彈簧另一端相同。

    2)接近固有頻率時,彈簧末端的運(yùn)動幅度增強(qiáng),物塊|x|的運(yùn)動振幅大于彈簧末端的運(yùn)動|u|振幅。對于一個無阻尼系統(tǒng)(ζ=0),物塊的運(yùn)動振幅此時在理論上會變得無限大。

    3)遠(yuǎn)高于系統(tǒng)固有頻率時,物塊位移|x|與1/ω2成比例地減少。在這種情況下,系統(tǒng)產(chǎn)生的位移不能傳遞至物體,也就是說彈簧充當(dāng)了隔離器。

    光學(xué)平臺系統(tǒng)

    光學(xué)平臺系統(tǒng)包括光學(xué)臺面和隔振腿。光學(xué)平臺可放置儀器并對振動進(jìn)行控制。光學(xué)平臺臺面是隔振系統(tǒng)中重要的一部分,其主要作用是提供一個無相對形變的剛性平臺,當(dāng)有振動源傳遞到桌面時,桌面蜂窩結(jié)構(gòu)和阻尼可有效減弱光學(xué)平臺振動變形。

     

    隔振腿除了支撐,主要作用是隔離來自地面的振動,隔振性能是其最重要指標(biāo)之一。其他性能還包括:各腿高度獨(dú)立調(diào)節(jié),自動水平,載重能力,高度可選,有無磁性等等。

    Newport在振動控制和振動隔離的生產(chǎn)設(shè)計方面,擁有超過40年的經(jīng)驗,已經(jīng)成為振動控制產(chǎn)品和方案的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。我們提供廣泛的寬帶及窄帶調(diào)諧阻尼,不同的尺寸和厚度的光學(xué)平臺,可滿足任何性能、預(yù)算的需求。其中SmartTable系列桌面的專利——IQ主動阻尼技術(shù)獨(dú)一無二,能最大限度隔離系統(tǒng)內(nèi)部的振動。

    主動隔振平臺

    本次慕尼黑上海光電展期間,我們推出了最新的主動隔振平臺GuardianTM系列。結(jié)合簡約的設(shè)計,先進(jìn)的隔振技術(shù),為超高分辨率顯微鏡和計量學(xué)提供了低頻區(qū)域(0.5-50 Hz)無與倫比的隔振性能,吸引了眾多參觀者的關(guān)注。

     

    GuardianTM工作站包括2個主動隔振模塊,每一個包含3個傳感器和3個衰減器,在六個自由度進(jìn)行實(shí)時補(bǔ)償。它不僅解決了被動隔振系統(tǒng)在固有頻率處的共振響應(yīng)問題(上圖藍(lán)色曲線),還提供高達(dá)34 dB(98%)額外的隔離(上圖粉紅色曲線)。隔離效率從1 Hz處的10.5 dB(70%),2 Hz處的20 dB(90%),到5 Hz處已達(dá)到30.5 dB(97%),不但大大優(yōu)于以彈簧為基礎(chǔ)的系統(tǒng),而且優(yōu)于最好的氣浮隔振平臺。

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    主動隔振平臺隔振性能儀器測量
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