“政府部門到企業授牌，我們非常感動。”1月14日，廣東華特氣體股份有限公司副董事長石思慧從南海區副區長喬吉飛手上接過獎牌和證書后，高興地說。

剛踏入2021年，華特氣體就收獲一份對其堅持創新的嘉獎。2020年，公司憑借“一種氨氣的純化系統”和“一種三氟甲烷純化裝置及純化方法”兩個專利，分別摘得了第七屆廣東專利獎金獎、第二十一屆中國專利優秀獎。

如今，堅持科研創新的華特氣體，已經在特種氣體生產關鍵環節形成了自身的核心技術，多個技術領域達到國際先進水平，是名副其實的特種氣體領域的“頂尖玩家”。

華特氣體通過核心技術攻關，成為特種氣體領域的頂尖企業。企業供圖

打入半導體頂尖供應鏈體系

根據華特氣體2020年第三季度報告披露，該公司第三季度營業收入比去年同期增加了12.36%。公司總經理傅鑄紅認為，這與華特氣體在特種氣體產品的深耕有關。

該公司2020年半年度報告顯示，目前，華特氣體主營業務分為三個板塊，分別是普通工業氣體、特種氣體，以及與特種氣體相關的設備與管路工程，面向全球市場提供氣體應用綜合解決方案。

2002年，華特氣體確定了以特種氣體為發展方向，時至今日，華特氣體的特種氣體主要用于半導體芯片行業，目前已實現對國內8寸以上集成電路制造廠商超過80%的客戶覆蓋率。企業堅持自主研發，在氣體純化、氣體混配、氣瓶處理等特種氣體生產關鍵環節形成了自身的核心技術，達到了國際先進水平；在分析檢測環節上達到國內先進水平。

據了解，華特氣體已在特種氣體領域生產出高純四氟化碳、高純六氟乙烷、高純二氧化碳、高純一氧化氮、高純八氟環丁烷、高純三氟甲烷、稀混光刻氣等20多個產品并實現了國內同類產品的進口替代。

在特種氣體領域專研18年后，如今，華特氣體已經成為國內最大的民營特種氣體及相關設備供應商，同時產品出口50多個國家和地區，并獲得海外大型氣體公司的認可，是國內少數實現了產品出口的氣體公司。

打開華特氣體的客戶名單，堪稱星光熠熠：不僅涵蓋了中芯國際、華虹宏力、長江存儲、臺積電、京東方等國內一線知名企業，華特還進入了英特爾、美光、德州儀器、海力士等全球領先的半導體企業供應鏈體系。

傅鑄紅說，經歷前期嚴格的認證并通過后，一旦進入供應鏈體系并開始批量供應后，華特氣體與客戶的合作關系也就趨向穩定，“我們現在的競爭對手基本都是國外企業”。

華特氣體已經成為國內最大的民營特種氣體及相關設備供應商。企業供圖

獲全球頂級光刻機企業認證

在華特氣體眾多特種氣體產品中，最亮眼的莫過于光刻混合氣。該產品于2017年通過全球最大光刻機供應商阿斯麥產品認證。

光刻是芯片制造最關鍵的工藝之一，光刻需要由光刻機來完成，而全球最頂級的光刻機公司就是荷蘭的阿斯麥。

“光刻機里有一個激光腔，激光腔體內要通入稀有的混合氣體，利用稀有氣體電離激發出一種特定波長和能量的激光。”傅鑄紅說，“光刻機再使用激光，去除芯片表面的光刻膠涂層，在芯片表面形成線寬為納米級的特定的電路圖案。”

光刻混合氣是非常復雜且高精度的產品，一般一種光刻氣中會含有4—5種組分氣體。傅鑄紅解釋，在光刻機制造過程中，需要用激光來加工芯片表面，讓激光波長和能量長時間保持穩定，如果氣體純度不夠或配比不精準，就會導致激光能量時高時低或不持續，“這必然影響光刻效果。”

2017年，華特氣體的光刻混合氣通過全球最頂級光刻機公司荷蘭阿斯麥的認證，在這個認證名單中，全球僅有四家企業，華特氣體是中國唯一一家。而從研發光刻混合氣，到獲得全球頂級光刻機企業的認證，華特氣體用了19年。

這個認證對華特氣體意義巨大。傅鑄紅說，通過阿斯麥的認證，意味著阿斯麥強烈建議它的光刻機用戶，在使用阿斯麥光刻機時，要配套使用這四家企業的光刻氣。華特氣體經歷一年多時間不斷向對方展示生產過程、品控手段、精準檢測的技術，“阿斯麥最終相信了我們的專業能力，最終測試通過并獲得了認證。”