機床的最大定位偏差為絲桿的螺距偏差及絲桿的熱收縮偏差。但如今上述的大部分偏差已被大幅度低落，機床的重要偏差轉而釀成垂直度偏差和直線度偏差。為了到達高的機床三維空間定位精度，機床上所有的3個位移偏差、6個直線度偏差和3個垂直度偏差都必需獲得丈量與抵償。用傳統的激光裝備干與儀來丈量直線度和垂直度偏差是較困難并費時花錢的。凡是必要停機很多天并請求有履歷的里手來進行丈量。
 
相較于傳統激光干與儀的幾天長期丈量，激光矢量丈量技能僅需數小時便可以實現，是以，三維體積定位偏差丈量和抵償變得適用，并可到達更高的精度和更小的公役。
 
分步對角線丈量法子使用4條雷同的對角線設置，收集了12組數據。在丈量獲得數據的底子上，所有三個位移偏差、六個直線度偏差和三個垂直度偏差都能確定。丈量獲得的定位偏差可以用來發生三維體積抵償表，此表可以被上傳到節制器以校準任何定位偏差，從而進步了定位精度。
 
用干與儀和分步對角線丈量法子只需很少的幾回丈量就獲得了充足多的數據，可以很是明白地表現出機床的狀況。能夠很是容易地辦理一些凡是的問題，諸如裝置偏差、溫度變革引發的偏差和布局發生的問題等，并無增長裝置時間，出產的產物品質愈來愈好。并且，用于三維體積校準的分步對角線丈量必要至多7次丈量，從這7次丈量中可領會到大部門偏差的范例及巨細，可使用該法子來替換傳統儀器在裝置線上作為光學準直儀、直尺和花崗石平臺。
 
激光機和立體鏡安頓在主軸和事情臺上，沿每一軸X軸、Y軸、Z軸分別分步瓜代挪動，如許反復不停走到對角線的對角上。所有三個軸每一步挪動后對角線的定位偏差就收集到了。這項技能收集了三倍的數據量，并容許可以丈量獲得每一軸挪動時的位移偏差。