工作原理激光掃描顯微鏡的工作原理與掃描電子顯微鏡相似，它與電鏡不同之處是用激光束代替電子束工作。經過聚焦的激光束射到樣品上，由樣品上的反射光形成圖像。在激光掃描顯微鏡中采用了自動聚焦裝置，它在樣品的每一個像素點上都進行聚焦。每一個調焦值都由計算機貯存起來，全部調焦值即構成了立體圖像的第三維圖像數據信息。由此可見激光掃描顯微鏡的最大特點就是能顯示出樣品真正的(非模擬)三維立體圖形，其圖像的三維尺度都可以用數值準確的標定。

　　自動聚焦原理現僅以線掃工作方式為例說明其原理。由激光源a產生的激光經聚焦后形成激光束b,穿過半透鏡f再經物鏡。聚焦后射到樣品d上，樣品反射光經半透鏡反射到棱鏡g，經過差分光電器和放大器h后再到控制器k和計算機1。當差分光電器檢測出散焦時，通過計算機和控制器調整物鏡的距離使聚焦正常。當樣品臺沿水平方向掃描時，計算機將貯存f每一點的調焦值，最后在顯示器上構成二維的線掃圖形。該圖形y軸分量表示了樣品的高度信息。

　　主要工作參數工作距離:1~45mm;測量范圍:0. 005~lmm;最高垂直分辨率:lnm。

　　特點及應用真實的三維圖形顯示，樣品制備簡單、大氣環境測試觀察、圖像貯存和處理方便、結構簡單、故障率小、維護方便。激光掃描顯微鏡可用于樣品的微觀形貌觀察，表面結構和粗糙度測量、振動和形變的觀察。它可廣泛用于材料涂層、微器件、薄膜、集成電路等方面的觀察與測量分析。