激光技術應用新方向——激光精密加工

從1960年第一臺紅寶石激光器誕生至今，激光技術幾乎覆蓋了生產(chǎn)生活的各個角落，從汽車制造、動力電池到手機制造、航空航天、醫(yī)療器械乃至國防軍事等，幾乎我們能想到的所有領域，都活躍著激光器的身影。對很多行業(yè)而言，激光技術更是一種不可或缺的支撐技術。眾所周知，“中國制造 2025”的核心是智能制造，智能制造的核心之一是光電技術，而光電技術的核心之一正是激光器。因此，激光行業(yè)是驅動制造業(yè)發(fā)展的一大核心力量，其重要性不言而喻。其中，尤以激光精密加工為代表的技術在電子、半導體、通訊、光存儲、微機械制造、生物、環(huán)境等行業(yè)進一步推廣和使用將為傳統(tǒng)加工方式創(chuàng)造前所未有的可能性。


激光超精密加工領域頂尖力量——甘棕松教授團隊

華中科技大學甘棕松教授致力研究超衍射極限光學精密技術，重點研究激光微納制造新技術的開發(fā)和及其在新一代信息技術中的應用。涉及領域包括三維納米光刻技術的開發(fā)、三維半導體微納器件的激光制造及其應用、光學大數(shù)據(jù)存儲技術、激光3D微納打印、高密度微納電子器件的激光制冷技術、大型科學與工程裝置中的大數(shù)據(jù)軟件技術等。其研究成果在三維芯片制造、光子芯片、大數(shù)據(jù)存儲、3D納米打印、仿生學等領域具有較強的國際影響力，并受到國際學術界、產(chǎn)業(yè)界和大眾媒體的多方關注。

近五年來，甘棕松教授以第一作者在Nature Communication、Science Advances、Applied Physics Letters、Optics Express等國際權威期刊共發(fā)表學術論文10余篇，其中ESI高被引用論文1篇。合著書籍章節(jié)2章，專著1部。研究成果被Nature Nanotechnology、Nature Materials等世界頂級期刊專題評論，評論為“該方法使得（激光制造）的特征尺寸和分辨率突破了光的衍射極限”。

此外，其在超衍射極限激光三維制造技術領域所取得的成果展示了單光盤1 PB（1000TB = 1,000,000 GB）存儲能力的技術飛躍，其相關研究成果被全球超過1000家新聞媒體報道和轉載。2014-2016年主持澳大利亞科學及工業(yè)教育基金（SIEF）項目1項（共41.1萬澳元），現(xiàn)主持和參與國家自然科學基金面上項目各1項。獲得2014年澳大利亞維多利亞州Victoria fellowship稱號，2017年湖北省楚天學子稱號。

（第20屆中國國際光電博覽會（GOIE）及2018全球光電子大會（OGC）上甘棕松教授發(fā)布納米光刻技術）


落地深圳——助力光電領域企業(yè)騰飛

甘棕松教授團隊于今年3月在深圳華中科技大學研究院成立激光超精密制造技術實驗室，旨在依托研究院平臺落地深圳為光學制造研究新原理和開發(fā)新技術，重點面向光學制造技術中的共性關鍵問題，探索面向產(chǎn)業(yè)化應用的解決方法。在其科研團隊已經(jīng)取得的雙光束超衍射極限精密技術系列成果的基礎上，將雙光束超衍射極限精密技術應用于芯片制造技術，研發(fā)雙光束超衍射極限納米光刻技術原理樣機，利用該技術實現(xiàn)三維芯片制造并為其提供光學制冷技術途徑。

實驗室將引入甘棕松教授團隊自主研發(fā)的國際首臺商用化的雙光束超衍射極限激光直寫光刻系統(tǒng)和國內(nèi)首臺商用化的基于熒光閃爍的超分辨顯微鏡，這兩套設備填補了國內(nèi)在光學超精密制造和超精密檢測領域的空白。

科研團隊將通過與觸控屏，光通信等相關企業(yè)合作，實現(xiàn)激光超精密制造技術在觸控屏、引線鍵合、光芯片、3D微納米打印等領域的產(chǎn)學研轉化。


（Super Lithography 3D 納米光刻系統(tǒng)）

（Super Lithography 3D 納米光刻系統(tǒng)感光材料）