• <ul id="ikuqo"></ul>
    <tfoot id="ikuqo"></tfoot>
    <tfoot id="ikuqo"></tfoot>
  • <ul id="ikuqo"><sup id="ikuqo"></sup></ul>
  • 閱讀 | 訂閱
    閱讀 | 訂閱
    半導體/PCB

    從我國激光技術全球領先,看我國光刻機發展緩慢原因

    星之球科技 來源:LeoGo科技2020-04-13 我要評論(0 )   

    我們應該知道中國激光技術在全球領先,甚至排在第一位。1964年,錢學森院士提議取名為“激光”,從1961年中國第一臺激光器到世界上第一所激光技術的專業研究所——中國...

    我們應該知道中國激光技術在全球領先,甚至排在第一位。1964年,錢學森院士提議取名為“激光”,從1961年中國第一臺激光器到世界上第一所激光技術的專業研究所——中國科學院上海光學精密機械研究所的成立,而且在ICF激光驅動器、高功率化學激光器、半導體泵浦的固體激光器、超短超強激光器等等各方面都有進步,可以說我國的激光事業一直在不斷進步。

    可是激光≠光刻機技術

    我們知道光刻機技術所需要的是——

    需要最精密的技術。包括德國機械工藝、蔡司鏡頭和美國公司提供的光源。

    涉及多個學科,包含了系統集成、精密光學、精密運動、精密物料傳輸、高精度微環境控制等多項先進技術。

    光刻工藝的具體步驟繁瑣,需要通過硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序,不是簡單的激光就能解決的。

    “拉同伙”,實際上ASML能夠成功,是因為將三星、臺積電、英特爾等等共同拉入ASML 公司。

    為了解決激光,ASML 收購了全球領先的準分子激光器供應商 Cymer,為了解決光刻系統,以 10 億歐元現金入股光學系統供應商卡爾蔡司。

    可以說,ASML的成功不是一蹴而就的,激光≠光刻機。


    我們的制約因素,不僅僅技術


    其實,影響我們的不僅僅是技術,還有技術壁壘。從《瓦森納協議》中的影響,讓我們不得不受限于技術的“限制”。很多時候不是我們不想發展,而是很多技術它是不能夠進來的,在這種情況下,我們的光刻機的發展受到了非常大的限制。


    在技術趕不上,又被封鎖的情況下,我們確實會在光刻機方面有所欠缺。當然,我們也期盼能夠在各種技術的合力下,擺脫限制,得到發展,走出一條打破光刻機技術之路。


    轉載請注明出處。

    半導體激光技術激光
    免責聲明

    ① 凡本網未注明其他出處的作品,版權均屬于激光制造網,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用。獲本網授權使用作品的,應在授權范圍內使 用,并注明"來源:激光制造網”。違反上述聲明者,本網將追究其相關責任。
    ② 凡本網注明其他來源的作品及圖片,均轉載自其它媒體,轉載目的在于傳遞更多信息,并不代表本媒贊同其觀點和對其真實性負責,版權歸原作者所有,如有侵權請聯系我們刪除。
    ③ 任何單位或個人認為本網內容可能涉嫌侵犯其合法權益,請及時向本網提出書面權利通知,并提供身份證明、權屬證明、具體鏈接(URL)及詳細侵權情況證明。本網在收到上述法律文件后,將會依法盡快移除相關涉嫌侵權的內容。

    網友點評
    0相關評論
    精彩導讀