據中國臺灣媒體報道,韓國產業通商資源部20日宣布,韓國化學大廠SKC目前正對用于半導體制程的光罩基板(Mask Blank)的試作樣品展開測試,預計2020年下半年正式展開量產。
據報導,韓國的半導體制造中,其光罩基板約90%依賴日本供應,同時光罩基板也是韓國大量進口自日本的20種高科技材料之一,韓國政府希望在20種主要材料、零件、設備,能脫離對日貨的倚賴,而光罩基板就名列其中。
資料顯示,SKC與SK海力士同屬于SK集團旗下,自1976年成立以來,在韓國最早開發及生產了不計其數的薄膜、化學、材料領域的產品,其核心部門為薄膜和化學部門。
自2018年開始,SKC已投入430億韓元(約3500萬美元)用于建設光罩基板廠,并于2019年建成,SKC不僅計劃在2020年內開始光罩基板的量產,同時也計劃在2021年量產更高端的產品。
2019年7月,日本經濟產業省宣布,將對用于智能手機及電視機的半導體等制造過程中需要的三種材料加強對韓國的出口管制,這三種材料分別為用于半導體清洗的氟化氫、用于智能手機顯示屏等的氟化聚酰亞胺,以及涂覆在半導體基板上的感光劑“光刻膠”。
對此,韓國也出臺了相關措施以應對日本針對韓國的出口管制措施。如提出了100大核心戰略產品國產化計劃,將投入7.8萬億韓元的研發費用,在1至5年內實現核心戰略產品國產化,而韓國企業也在加速在該領域的國產化。
2019年,外媒曾報道,SK海力士已開始測試從國內采購的高純度氟化氫,而三星電子也開始在半導體生產線上試用韓國企業加工的氟化氫。
2020年初,國外媒體曾報道稱,韓國產業通商資源部表示,韓國化工企業已確立能以高純度大量生產氟化氫的制造技術,氟化氫被用于晶圓的清洗等方面。
韓國產業通商資源部的鄭升一次官20日在視察SKC位于中部忠清南道天安市的工廠時強調,必須在材料、零件、設備等政策方面迅速交出成果。特別是日本于去年7月開始就對韓國展開嚴格出口限制的3種高端化學材料,務必要在年內達成安定供應的目標。
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