3月2日,相干公司舉行了“微電子制造技術月”主題系列的首場線上活動。活動上,公司向業界正式推出了MicroLED顯示領域的最新研發成果——國內首臺UVtransfer三合一設備,并向線上嘉賓作了設備講解和技術演示。
據相干公司銷售及業務擴展經理李帥介紹,UVtransfer三合一集成式激光系統是相干公司在MicroLED領域帶來的最新研究成果和解決方案。UVtransfer專為MicroLED生產制造設計,可執行三道重要工藝激光剝離(LLO)、巨量轉移(LIFT)和激光修復(Repair)。
UVtransfer技術誕生于相干公司在德國的紫外激光器和光學系統研發中心。該系統的設計初衷是為了在研發環境和試產線中支持基于248nm激光技術工藝開發,提供極高的靈活性和精度,并實現高產出和經過工業驗證的可靠性。不久前,公司已經將全球第二臺UVtransfer系統安裝在深圳實驗室,并完成了安裝調試,將為中國本土客戶提供測試和設計開發等服務。
MicroLED有望降低超大顯示屏以及部分小型顯示屏應用的成本。在普遍采用MicroLED前,有幾項技術挑戰需要克服。一是從外延片分離晶粒,二是以微米級的精度和可靠性將晶粒傳送到基板。并且這些工藝必須與維修/更換方案兼容,以解決不可避免的瑕疵晶粒問題。同時,它們必須與自動化兼容并確保高產出。
MicroLED順應了微型化趨勢,不需要為減小尺寸而耗費大量成本改進工具。未來MicroLED市場的發展軌跡逐漸清晰可見,更小的裸芯片、更大的晶圓、更高的容量、更大的屏幕和更低的成本。相干公司憑借在顯示屏制造領域積累的成功經驗,為全球眾多客戶提供了合適的激光加工解決方案,其中就包括最新推出的UVtransfer三合一設備。
UVtransfer是目前少有能夠處理上述三個關鍵生產步驟的可用系統,每次脈沖可以覆蓋大到16mm×2mm的區域,從而實現大規模并行設備處理。要為大型顯示屏轉移數以億計的顯示裸芯片,并讓這些顯示屏實現經濟效益。
活動最后,相干公司深圳實驗室的工程師為嘉賓們演示操作了UVtransfer三合一設備,講解了有關MicroLED的生產過程。
轉載請注明出處。