傳統弧光燈(氙燈、氘燈等)使用電極驅動,限制了亮度、壽命和穩定性等性能,激光驅動白光光源(Laser Driven Light Source, LDLS)采用無電極結構,利用激光驅動氙燈產生的高溫等離子體,保證輸出光束具有超寬光譜(1700 nm ~ 2100 nm)、超高亮度、超長壽命(> 9000 h)和超高穩定性,而且LDLS在DUV的亮度是傳統光源如氙燈的10倍以上,非常適合應用于寬光譜檢測、OCD量測、薄膜測厚、overlay量測、in situ量測、反應腔監控、終點檢測等半導體領域;另外,因為LDLS具有出色的光譜覆蓋性、壽命、亮度,所以LDLS非常適合那些目前在使用傳統弧光燈,但是苦于頻繁更換、波長覆蓋不足、亮度不夠的客戶。推薦應用領域:半導體行業、光學傳感器/組件/光纖檢測、生物/材料科學等領域。如對LDLS產品感興趣,歡迎來濱松光子學商貿(中國)有限公司(NEPCON China展位號:1K10)展臺參觀LDLS展品。
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